Relau Tiub Vakum

Kuasa

3.5KW

Saiz tiub relau (mm)

Dia 60(OD) X1200mm

Dimensi

1300X420X1200

Voltan bekalan kuasa

220V

Nombor fasa

Fasa tunggal

Mod kawalan suhu

Kawalan suhu Yudian

30 bahagian hanya boleh menggunakan peraturan suhu PID.

Kawalan suhu FP93 (dari Jepun)

(Ganti instrumen yang diimport, dengan bayaran tambahan)

1,40 bahagian kawalan suhu program boleh dibahagikan kepada 4,2,1 program kumpulan,

jika program dibahagikan kepada empat kumpulan, setiap segmen program 10,

Kawalan 2,6 kumpulan PID, suhu rendah, sederhana dan tinggi masing-masing boleh dengan satu set PID,

supaya setiap segmen mampu mengawal suhu adalah sangat tepat.

Pencetus

Pencetus anjakan fasa

SCR

106 / 16E Jerman Simon Kang

Suhu maksimum

1200 darjah

Suhu terkadar

1100 darjah

Kadar pemanasan

Kurang daripada atau sama dengan 30 darjah / Min (Tersedia atas pengubahsuaian permintaan)

Kawal ketepatan

+/- 1 darjah

Kadar pemanasan yang disyorkan

Kurang daripada atau sama dengan 15 darjah / Min

Panjang pemanasan

400mm

Jenis Termokopel

jenis K

Pensijilan

CE

Suhu permukaan sekeliling

Kurang daripada atau sama dengan 45 darjah

Pusingkan kuasa motor

40W

Kuasa putter elektrik

40W

Relau boleh dicondongkan sudut

-10 ~30 darjah

Kadar putaran tiub

Kelajuan motor boleh ubah berterusan boleh dilaraskan dalam 1-25 putaran / min

Kuasa RF Plasma

Julat keluaran kuasa

0-500W

Kuasa pantulan maksimum

10W

Kekerapan isyarat

13.56MHZ ± 0.005%

bising

<30 dB

Penyejukan udara

kaedah penyejukan

Kuasa input

208-240V 50 / 60HZ

Sistem bekalan GX

parameter utama

Julat standard

Pengawal aliran Proton 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM,

1,2,3,5,10SLM

(anda boleh memilih mana-mana skala)

Ketepatan

± 1.5%

Kejatuhan tekanan

<0.01MPa

Kebolehulangan

± 0.2% F.S

Maks

Tekanan operasi

RMK-3

VS-0.1 sistem ekzos

bekalan kuasa

220V / 380V 380W

Kadar mengepam

2L / S

Tolok vakum rintangan

ZDR-I

Julat ukuran vakum

0.1-10 5 Pa

Pam vakum

VRD-8

Paip beralun

KF25X1000mm

Sistem vakum

10 -1Pa