Relau PECVD

1. Jenis: Sistem PECVD Zon Dwi-jenis Slider 1200 darjah
2.Nombor fasa:Fasa tunggal
3.Termokopel Jenis:K jenis
4.Model:TOB-DSP-1200 darjah -PECVD
5.MOQ:1set

Hantar pertanyaan

Berbual sekarang

pengenalan produk

Sistem PECVD Zon Dwi Jenis Gelangsar 1200 darjah

Spesifikasi

Model	Ijazah TOB-DSP-1200. -PECVD-I	Ijazah TOB-DSP-1200. -PECVD-II		Ijazah TOB-DSP-1200. -PECVD-III	Ijazah TOB-DSP-1200. -PECVD-IV
Kuasa	3KW	3KW		4KW	4KW
Saiz tiub relau (mm)	Dia 60(OD) X1800mm	Dia 80(OD) X1800mm		Dia 100(OD) X1800mm	Dia 120(OD) X1800mm
Dimensi	1800X410X610	1800X410X610		1800X460X660	1800X460X660
Voltan bekalan kuasa	220V
Nombor fasa	Fasa tunggal
Mod kawalan	Kawalan suhu Yudian 30 bahagian hanya boleh menggunakan peraturan suhu PID. Kawalan suhu FP93 (dari Jepun) (Ganti instrumen yang diimport, dengan bayaran tambahan) 1,40 bahagian kawalan suhu program boleh dibahagikan kepada 4,2,1 program kumpulan, jika program dibahagikan kepada empat kumpulan, setiap segmen program 10, Kawalan 2,6 kumpulan PID, suhu rendah, sederhana dan tinggi boleh setiap satu dengan satu set PID, supaya setiap segmen mampu mengawal suhu adalah sangat tepat.
Mod kawalan suhu	PID Pintar
Perlindungan dan paparan burnout	ya
Perlindungan lebih suhu	ya
Perlindungan arus lebih	ya
Kawal ketepatan	+/- 1 darjah
Pencetus	Pencetus anjakan fasa
SCR	106 / 16E Jerman Simon Kang
Suhu maksimum zon suhu 1.2	1200 darjah
Zon suhu 1.2 Suhu terkadar	1150 darjah
Kadar pemanasan	Kurang daripada atau sama dengan 30 darjah / Min (Tersedia atas pengubahsuaian permintaan)
Kadar pemanasan yang disyorkan	Kurang daripada atau sama dengan 15 darjah / Min
Jenis Termokopel	jenis K
Panjang pemanasan zon suhu 1.2	205mm
Suhu permukaan sekeliling	Kurang daripada atau sama dengan 45 darjah
Kuasa RF Plasma	Julat keluaran kuasa		0-500W
	Kuasa pantulan maksimum		10W
	Kekerapan isyarat		13.56MHZ ± 0.005%
	bising		<30 dB
	Penyejukan udara		kaedah penyejukan
	Kuasa input		208-240V 50 / 60HZ
Parameter utama sistem bekalan GX	Julat standard		Pengawal aliran Proton 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM, 1,2,3,5,10SLM (anda boleh memilih mana-mana skala)
	Ketepatan		± 1.5%
	Kejatuhan tekanan		<0.01MPa
	Kebolehulangan		± 0.2% F.S
	Maks Tekanan operasi		3MP
VS-0.1 sistem ekzos	bekalan kuasa		220V / 380V 380W
	Kadar mengepam		2L / S
	Tolok vakum rintangan		ZDR-I
	Julat ukuran vakum		0.1-10 5 Pa
	Pam vakum		VRD-8
	Paip beralun		KF25X1000mm
	Sistem vakum		10 -1Pa